发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5575245(A) 申请公布日期 1980.06.06
申请号 JP19780149795 申请日期 1978.12.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKURAI JIYUNJI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址
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