发明名称 Methode zur Herstellung eines Oxydsupraleiterfilms.
摘要
申请公布号 DE69012422(T2) 申请公布日期 1995.02.16
申请号 DE1990612422T 申请日期 1990.05.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 HAYASHI, NORIKI, C/O OSAKA WORKS, KONOHANA-KU, OSAKA, JP;YOSHIDA, NORIYUKI, C/O OSAKA WORKS, KONOHANA-KU, OSAKA, JP
分类号 C23C14/28;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/14 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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