| 摘要 |
<p>Bei einer Transportvorrichtung für Magazine zur Aufnahme scheibenförmiger Objekte besteht die Aufgabe, mit geringem technischen Aufwand, einen zeitlich effektiven Gasaustausch innerhalb einer SMIF-Box in erforderlichem Umfang zu gewährleisten, der sich in das mit einem SMIF-System verbundene Arbeitsregime einpaßt. Gemäß der Erfindung mündet von verschließbaren Kanälen, die in die Wandung (2, 29, 56) eingearbeitet sind, ein Gaszufuhrkanal (4, 31, 54) in Mitteln zur Gasverteilung. Ein Gasableitungskanal (5, 37, 55) steht mit einem Gasauslaß in Verbindung, der dem Magazin (3) entgegengesetzt zu den Mitteln der Gasverteilung benachbart ist. Die Erfindung ist bevorzugt bei der Herstellung von Halbleiterchips anwendbar.</p> |
