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发明名称 Substrate loading apparatus
摘要
申请公布号 GB9425349(D0) 申请公布日期 1995.02.15
申请号 GB19940025349 申请日期 1994.12.15
申请人 OXFORD PLASMA TECHNOLOGY LTD 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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