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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0745748(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930192118 申请日期 1993.08.03
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 YAMAMOTO YOSHIYUKI;IMAI TAKAHIRO;FUJIMORI NAOHARU
分类号 C30B29/04;H01L23/14;(IPC1-7):H01L23/14 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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