| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR TREATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0745640(A) |
申请公布日期 |
1995.02.14 |
| 申请号 |
JP19930184856 |
申请日期 |
1993.07.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;IWATE TOSHIBA ELECTRON KK |
发明人 |
KITADATE OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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