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发明名称 SILICON WAFER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0745625(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930187777 申请日期 1993.07.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRATSUKA HACHIRO
分类号 C30B29/06;H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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