THIN FILM FORMING METHOD,申请号JP19930188566-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号	JPH0745541(A)	申请公布日期	1995.02.14
申请号	JP19930188566	申请日期	1993.07.30
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	SUGIYAMA NAOHARU;YAMADA HIROSAKU
分类号	H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
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