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发明名称 PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0745514(A) 申请公布日期 1995.02.14
申请号 JP19930208452 申请日期 1993.07.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 SHIRAKAWA HIDEKAZU;AOKI SHIGEKI;MORIOKA NORIMITSU
分类号 G03C1/74;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03C1/74
代理机构 代理人
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