| 发明名称 |
VACUUM PUMP WITH A GAS BALLAST DEVICE |
| 摘要 |
<p>Die Erfinding betrifft eine Vakuumpumpe (1) mit einer absperrbaren Leitung (63, 102), über die Gasballast in den Schöpfraum (8, 9) der Pumpe zuführbar ist; um die Gefahr der Belüftung eines an die Vakuumpumpe angeschlossenen Rezipientens bei einem Ausfall der Pumpe zu beseitigen, wird vorgeschlagen, dass die Leitung mit einem betriebsabhängig arbeitenden Steuerventil (59, 60, 61; 98, 99; 109, 110) für die Gasballastzufuhr ausgerüstet ist, welches derart arbeitet, dass die Leitung bei einem Ausfall der Pumpe geschlossen ist.</p> |
| 申请公布号 |
WO9504223(A1) |
申请公布日期 |
1995.02.09 |
| 申请号 |
WO1994EP01678 |
申请日期 |
1994.05.26 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT;ABELEN, THOMAS;ARNDT, LUTZ;MUELLER, PETER |
发明人 |
ABELEN, THOMAS;ARNDT, LUTZ;MUELLER, PETER |
| 分类号 |
F04C25/02;F04C27/02;F04C28/28;F04C29/02;(IPC1-7):F04C29/10 |
主分类号 |
F04C25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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