发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0737993(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930179433 申请日期 1993.07.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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