| 发明名称 |
INSPECTING JIG FOR ELECTRIC CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0735771(A) |
申请公布日期 |
1995.02.07 |
| 申请号 |
JP19930182697 |
申请日期 |
1993.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWAGUCHI YASUMASA;MIZUNO CHIYOUICHIROU |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/06 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
