| 发明名称 |
Waterborne photoresists having polysiloxanes |
| 摘要 |
A waterborne photoimageable composition or photoresist comprises a latex binder polymer having sufficient carboxylic acid functionality to render it developable in alkaline aqueous solution, a photopolymerizeable monomer fraction, a photoinitiator chemical system and a poly(siloxane(s)).
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| 申请公布号 |
US5387494(A) |
申请公布日期 |
1995.02.07 |
| 申请号 |
US19940221313 |
申请日期 |
1994.03.30 |
| 申请人 |
MORTON INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
BARR, ROBERT K.;DERRICO, GENE A. |
| 分类号 |
G03F7/004;C09D4/00;C09D4/02;C09D4/06;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/031;G03F7/033;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/18;H05K3/28;(IPC1-7):G03C1/73 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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