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发明名称 SEMICONDUCTOR LAYER FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0738114(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930200214 申请日期 1993.07.21
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 OTANI TOMOHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;H01L31/10;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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