发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0734242(A) 申请公布日期 1995.02.03
申请号 JP19930176456 申请日期 1993.07.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUDA AKIRA;GOTO CHIKAKO
分类号 C23C14/34;C23C14/38;C23C14/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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