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发明名称 Method for purifying gaseous hydrides.
摘要
申请公布号 EP0485658(B1) 申请公布日期 1995.02.01
申请号 EP19900121918 申请日期 1990.11.15
申请人 JAPAN PIONICS CO., LTD. 发明人 KOICHI, KITAHARA;TAKASHI, SHIMADA;KEIICHI, IWATA
分类号 C01B6/34;C01B19/04;C01B25/06;C01B33/04;C01B17/16;C01G28/00;(IPC1-7):C01B6/34 主分类号 C01B6/34
代理机构 代理人
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