发明名称 Device for loading and unloading a storage cassette with flat objects.
摘要
申请公布号 EP0435774(B1) 申请公布日期 1995.02.01
申请号 EP19900403786 申请日期 1990.12.27
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CRUZ, DIDIER
分类号 B65H1/28;B65G1/00;B65G1/04;B65G1/07;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;B65G65/00 主分类号 B65H1/28
代理机构 代理人
主权项
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