发明名称 HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0729912(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930195508 申请日期 1993.07.12
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SASAKI KIYOHIRO
分类号 H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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