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经营范围
发明名称
POROUS GAS-INTRODUCING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH0729894(A)
申请公布日期
1995.01.31
申请号
JP19930198003
申请日期
1993.07.14
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
FUJITA SHIGEHIRO;SASAMURA YOSHITAKA;TAMAOKI NORIHIKO;OKUNI MITSUHIRO;NAKAYAMA ICHIRO;KUBOTA MASABUMI;NOMURA NOBORU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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