| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING END POINT OF ENERGY BEAM PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0729881(A) |
申请公布日期 |
1995.01.31 |
| 申请号 |
JP19930154794 |
申请日期 |
1993.06.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI HIROSHI;AZUMA JUNZO;ITO FUMIKAZU |
| 分类号 |
B23K15/00;B23K15/06;B23K31/00;G01N21/63;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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