| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0730103(A) |
申请公布日期 |
1995.01.31 |
| 申请号 |
JP19930167931 |
申请日期 |
1993.07.07 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
MATSUKAWA NAOKI;MIZUNO MAKOTO;SHIMAZU KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
