发明名称 PROCEDIMENTO PER LA LEVIGATURA DELLO SPIGOLO DI FETTE DI SEMICONDUTTORI.
摘要
申请公布号 ITRM940495(A1) 申请公布日期 1995.01.30
申请号 IT1994RM00495 申请日期 1994.07.27
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 HUBER ANTON;JUNGE JOACHIM
分类号 B24B9/00;B24B9/06;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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