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发明名称
摘要
申请公布号	JPH077802(B2)	申请公布日期	1995.01.30
申请号	JP19880139088	申请日期	1988.06.06
申请人		发明人
分类号	H01L23/522;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L23/522
代理机构		代理人
主权项
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