| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH LENGTH MEASURING FUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0727549(A) |
申请公布日期 |
1995.01.27 |
| 申请号 |
JP19930175888 |
申请日期 |
1993.06.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TODOKORO HIDEO;TERAKADO SADAO;KURODA KATSUHIRO;NINOMIYA TAKESHI;KURE TOKUO;MIZUNO FUMIO;YAMADA SATORU |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/22;(IPC1-7):G01B15/00 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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