发明名称 LOW TEMPERATURE FORMATION OF CERAMIC COATING
摘要
申请公布号 JPH0725606(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19900800027 申请日期 1990.04.17
申请人 DOW CORNING CORP 发明人 ROOREN ANDORIYUU HARUSUKA;KIISU UINTON MAIKERU
分类号 C01B33/12;C01B33/20;H01L21/314;H01L21/316;H05K1/03;(IPC1-7):C01B33/12 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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