精密扫描隧道显微技术微进给及定位机构

摘要

本实用新型为精密扫描隧道显微技术微进给及定位机构。在支架上安有一套螺纹副作为第一级粗调定位，在螺杆中心位置安置由精密调整驱动器，弹簧和双层板弹簧作为第二级半精密微进给机构，与双层板弹簧相接有第三或第四级微位移进给机构，所说的第三级压电微位移器利用柔性铰支控制弹性变形元件工作面的位移，第四级由压电陶瓷管调节探针的精确位移。本机构具有结构较简单、调整方便、调节精度高和可实现防碰针地自动反馈进入所需隧道间隙的调整。

主权项

1、一种精密扫描隧道显微技术微进给及定位机构，其特征在于，在支架上安置有一套精密螺纹副，其螺套与支架之间依靠推力轴承成可活动方式组合，在螺套的上端有调节旋钮，在支架上可有固定轴承和螺套的压盖，在螺杆上开有可用销钉限制其周向转动的键槽；螺杆的中间可有一个通孔，以在通孔内安置有调节弹簧，在螺杆的上方安置有与调节弹簧上端相结合的精密调整驱动器，在螺杆的下面安置有与调节弹簧下端相结合的双层板弹簧，在双层板弹的下面安置有压电陶瓷管，探针安置在压电陶瓷管下方；弹性变形元件安置在底板上的工作台上，在弹性变形元件内安置有压电微位移器，在压电微位移器的上面与弹性变形元件工作面之间和下面可以加有垫片，在下面的垫片外可有调节螺丝，弹性变形元件工作面与弹性变形元件主体之间有柔性铰支。