| 发明名称 |
SUBSTRATE INSPECTION INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0720187(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930186786 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
MATSUKUEITO:KK |
发明人 |
KOBAYASHI SHIGENOBU;TSUZUKI SATOSHI;SHIMIZU TSUNEHISA |
| 分类号 |
G01R31/02;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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