| 发明名称 |
SHORT ARC TYPE CADMIUM-RARE GAS DISCHARGE LAMP AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE MOUNTED WITH THE DISCHARGE LAMP |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0721980(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930286219 |
申请日期 |
1993.10.22 |
| 申请人 |
USHIO INC;NIKON CORP |
发明人 |
YASUDA YUKIO;YAMAGUCHI AKIYASU;IGARASHI RYUSHI;ONISHI YASUO;KAI KENZO;SUGIHARA MASANORI;MORI KOJI;MIYAJI AKIRA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J61/16;H01J61/18;H01J61/86;(IPC1-7):H01J61/16 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
