多管高速旋转探针

摘要

一种多管探针装置，包含若干探针头，其接于对应之若干挠性轴总成，以各别测试若干管件。一单一之纵向驱动单元，接于所有挠性轴总成，以同时移动针头进出于管件。一分隔之旋转驱动单元，接于各挠性轴总成，以于管内旋转计头。挠性轴总成包含一外挠性管与一内联锁金属管，联锁金属管自旋转驱动单元传送旋转力至计头，其中空核心容置有导电件。联锁金属管最好做为接地件，以减少通过联锁金属管以产生屏蔽之电线数量。一薄板将计头与挠性轴总成对应于管位置而定位，单一之纵向驱动单元可达成同时使用一枚以上之针头，减少测试时间及提高生产力。

主权项

1.一种多管探针总成,包含:至少二枚探针头,具有一检视第一管件之第一探针头及一检视第二管件之第二探针头;一第一旋转驱动单元,用于令该第一探针头依其纵向轴线旋转;一第二旋转驱动单元,用于令该第二探针头依其纵向轴线旋转;一纵向驱动单元,用于令该第一探针头与该第二探针头沿其各别之纵向轴线移动,以将该第一探针头与该第二探针头分别插入及退出该第一管件与该第二管件内;其该纵向驱动单元同时分别放置该第一探针头与该第二探针头于该第一管件与该第二管件内,以利同时检视该第一管件与该第二管件。2.根据申请专利范围第1项之多管探针总成,其中该至少二枚探针头包含三枚探针头,以同时检视三支管件。3.根据申请专利范围第1项之多管探针总成,其另包含若干挠性轴总成,用于将各探针头接至其对应之旋转驱动单元件。4.根据申请专利范围第3项之多管探针总成,其中该挠性轴总成包含一具有中空筒形中心以容置电线之联锁金属管。5.根据申请专利范围第3项之多管探针总成,其中该挠性轴总成包含一传送各该旋转驱动单元之旋转力至其相对探针头之联锁金属管。6.根据申请专利范围第3项之多管探针总成,其中该联锁金属管包含一用于各相关探针头之接地导件。7.根据申请专利范围第1项之多管探针总成,其另包含一管形薄板,用以将该至少二探针头对称于该管件形状而定位。8.根据申请专利范围第3项之多管探针总成,其另包含一用于围覆该挠性驱动轴之挠性管。9.根据申请专利范围第3项之多管探针总成,其中该纵向驱动单位包含一接于该若干挠性轴总成之板及一提供检视行程至该第一探针头与该第二探针头之作动件。图1系一习用检视装置之立体局部示意图;图2系本发明多管探针装置之方块图;图3系本发明之一单一探针头与旋转驱动单元之截面图;及图4系一种使用三枚针头之纵向驱动单