发明名称 PRESSURE SENSOR CHIP, TACTILE SENSOR AND MANUFACTURE OF TACTILE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0719975(A) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 JP19930186791 申请日期 1993.06.30
申请人 MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD 发明人 FUJIWARA TAKANORI;HISATANI MASUSHIROU;JIBIKI TATSUHIRO
分类号 G01L1/16;G01L5/00;G01L5/16;H01L29/84;(IPC1-7):G01L5/00 主分类号 G01L1/16
代理机构 代理人
主权项
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