发明名称 |
PRESSURE SENSOR CHIP, TACTILE SENSOR AND MANUFACTURE OF TACTILE SENSOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0719975(A) |
申请公布日期 |
1995.01.20 |
申请号 |
JP19930186791 |
申请日期 |
1993.06.30 |
申请人 |
MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD |
发明人 |
FUJIWARA TAKANORI;HISATANI MASUSHIROU;JIBIKI TATSUHIRO |
分类号 |
G01L1/16;G01L5/00;G01L5/16;H01L29/84;(IPC1-7):G01L5/00 |
主分类号 |
G01L1/16 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|