发明名称 OPTICAL MEASURING APPARATUS FOR SHAPE OF SURFACE
摘要
申请公布号 JPH0719842(A) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 JP19930182256 申请日期 1993.06.29
申请人 KOSAKA KENKYUSHO:KK 发明人 HIGUCHI AKIRA
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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