发明名称 Methode zur Herstellung einer Schicht auf einem Substrat.
摘要
申请公布号 DE68917006(T2) 申请公布日期 1995.01.19
申请号 DE19896017006T 申请日期 1989.04.18
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC., SUNNYVALE, CALIF., US 发明人 IBOK, EFFIONG E., AUSTIN TEXAS, US
分类号 G11C17/00;G11C16/04;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/82 主分类号 G11C17/00
代理机构 代理人
主权项
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