垂直扩散炉中的载片舟

摘要

在一种装载片子的方法中，一种舟使得能够减少垂直扩散炉内片子中产生的晶体缺陷并提高工艺均匀性。提供了一种舟，它包含一对用来支持片子面对面二边的侧面舟杆、一对彼此比侧面舟杆靠得更近且平行于侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆、以及以相等的角度倾斜地形成并固定于侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。因此，即使处理大直径片子时，也可防止扩散工艺中产生晶体缺陷。

主权项

1.一种舟，它包含：一对用来支持片子面对面二个边缘的侧面舟杆；一对彼此比所述侧面舟杆靠得更近且平行于所述侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆；以及以相等的角度倾斜地形成并固定于所述侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。