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发明名称 FORMATION OF AL WIRING
摘要
申请公布号 JPH0714837(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930146508 申请日期 1993.06.17
申请人 SONY CORP 发明人 TAGUCHI MITSURU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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