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发明名称
ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH0714698(A)
申请公布日期
1995.01.17
申请号
JP19930177428
申请日期
1993.06.23
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
AGAWA YOSHIAKI;HISAMUNE TAKESHI
分类号
C23C14/48;H01J27/04;H01J27/10;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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