发明名称 |
SUSCEPTER FOR FLOATING MELTING ZONE APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0710681(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
申请号 |
JP19940097114 |
申请日期 |
1994.05.11 |
申请人 |
HEMUROTSUKU SEMICONDUCTOR CORP |
发明人 |
JIYOAKUIN ENRITSUKU RUNA;SUKOTSUTO AREN HOIIROTSUKU |
分类号 |
C30B13/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/20 |
主分类号 |
C30B13/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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