发明名称 SUSCEPTER FOR FLOATING MELTING ZONE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0710681(A) 申请公布日期 1995.01.13
申请号 JP19940097114 申请日期 1994.05.11
申请人 HEMUROTSUKU SEMICONDUCTOR CORP 发明人 JIYOAKUIN ENRITSUKU RUNA;SUKOTSUTO AREN HOIIROTSUKU
分类号 C30B13/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/20 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
地址