发明名称 System zur optischen Inspektion von Bedingungen von Teilen, die auf einem Substrat angebracht sind.
摘要
申请公布号 DE69014505(D1) 申请公布日期 1995.01.12
申请号 DE19906014505 申请日期 1990.09.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 MARUYAMA, YUJI, INAGI-SHI, TOKYO, JP;TSUDA, YUKIFUMI, KAWASAKI, JP;IKEGAYA, KAZUTOSHI, SAGAMIHARA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SANNOMIYA, KUNIO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;TOBA, HIROTO, YOKOHAMA, JP;SETO, TAKUMI, YOKOHAMA, JP
分类号 G01R31/309;(IPC1-7):G01R31/28;G01B11/24;G01R31/308;H05K13/00 主分类号 G01R31/309
代理机构 代理人
主权项
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