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发明名称 Verfahren und Zusammensetzung für Resistsilylierung.
摘要
申请公布号 DE68919573(D1) 申请公布日期 1995.01.12
申请号 DE19896019573 申请日期 1989.07.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GLEASON, ROBERT T., BURLINGTON VERMONT 05401, US;LINDE, HAROLD G., RICHMOND VERMONT 05477, US
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/075;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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