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发明名称 Method of making a monolithic integrated photodetector.
摘要
申请公布号 EP0272372(B1) 申请公布日期 1995.01.11
申请号 EP19870109847 申请日期 1987.07.08
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 DAEMBKES, HEINRICH, DR.-ING.;HASPEKLO, HORST, DR. RER. NAT.;KOENIG, ULF, DR.-ING.
分类号 G02B6/12;H01L27/144;H01L31/105;(IPC1-7):H01L21/82;H01L29/812;H01L29/808;G02B6/42 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
主权项
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