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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号
JPH02240260(A)
申请公布日期
1990.09.25
申请号
JP19890061253
申请日期
1989.03.14
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TANIMOTO YOSHIAKI
分类号
C23C14/34;H01L21/285
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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