WERKWIJZE VOOR HET FABRICEREN VAN OPTO-ELECTRONISCHE COMPONENTEN.

摘要

Werkwijze voor het fabriceren van meerdere opto-electronische componenten op een halfgeleider substraat, waarbij ieder opto-electronisch component uit meerdere lagen is samengesteld. De lagen worden gegroeid in een reactor. Iedere laag wordt onder een voorafbepaalde druk gegroeid zodanig dat de actieve lagen (12, 22) van alle componenten ongeveer op dezelfde hoogte liggen en zodanig dat men door de druk in de reactor te controleren kan kiezen of de gegroeide laag constant is in dikte of varieert in dikte over het substraat.