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发明名称 FILM-FORMATION MONITORING AND CONTROL APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH074943(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930141763 申请日期 1993.06.14
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ITO ATSUSHI
分类号 C23C14/54;G01B17/00;G01B17/02;(IPC1-7):G01B17/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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