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发明名称 PROBE FOR MEASURING ELECTRIC CHARACTERISTICS
摘要
申请公布号 JPH075197(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930342767 申请日期 1993.12.16
申请人 BEKUTORU SEMICONDUCTOR:KK 发明人 KUDO HIDETSUGU;SONE KAZUYOSHI;YOSHIZAWA SHIGERU;MORII AKIRA
分类号 G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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