发明名称 SEMICONDUCTOR SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH077006(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930146623 申请日期 1993.06.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASHI YOSHIKI;KUBOTA ATSUKO;TSUCHIYA NORIHIKO
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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