发明名称 METHOD OF PRODUCING SILICON NITRIDE BY CARBONITRIDING OF SILICON AND WHISKER-FREE SILICON NITRIDE IN GRANULAR FORM
摘要
申请公布号 JPH072503(A) 申请公布日期 1995.01.06
申请号 JP19920175804 申请日期 1992.07.02
申请人 ELF ATOCHEM SA 发明人 RORAN BASHIYURAARU;JIYANNPIEERU DEISON
分类号 C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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