Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung von Unreinheiten in Halbleitern.
摘要
申请公布号
DE69014273(D1)
申请公布日期
1995.01.05
申请号
DE19906014273
申请日期
1990.09.17
申请人
AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US
发明人
CARVER, GARY ERNEST, FLEMINGTON, NEW JERSEY 08822, US;MICHALSKI, JOHN DENNIS, FURLONG, PENNSYLVANIA 18925, US;KOOS, GREGORY LEE, YARDLEY, PENNSYLVANIA 19067, US
