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发明名称 Cantilever zum Gebrauch in einem Atomkraftmikroskop und Verfahren zu dessen Herstellung.
摘要
申请公布号 DE69102111(T2) 申请公布日期 1995.01.05
申请号 DE1991602111T 申请日期 1991.03.05
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NISHIOKA, TADASHI, C/O MITSUBISHI DENKI K. K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;YASUE, TAKAO, C/O MITSUBISHI DENKI K. K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;KOYAMA, HIROSHI, C/O MITSUBISHI DENKI K. K., ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 G01B21/30;G01B5/28;G01B7/34;G01N23/00;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q70/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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