| 摘要 |
为提供一种温度控制技术与曝光技术，在使用温度受控制之流体时，就算使用随流体之状态会产生热变化之装置，仍可获得高精度的温度控制。将由温度控制对象之标线片室32回收之气体、与来自气体供给源35之高纯度清除气体在混合部45混合，利用冷冻机47降低混合气体之温度后，以湿度感测器49测量该湿度。测量后之气体经过加热机52、随湿度吸放热之化学过滤器53以及防尘过滤器54供给至标线片室32。根据标线片室32内之温度感测器39B提供之温度资讯与湿度感测器49提供之湿度资讯，来控制在加热机52之该气体之加热量。 |
