Film thickness measuring system,申请号IL19940111217-传众专利搜索

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发明名称	Film thickness measuring system
摘要
申请公布号	IL111217(D0)	申请公布日期	1994.12.29
申请号	IL19940111217	申请日期	1994.10.10
申请人	HUGHES AIRCRAFT COMPANY	发明人
分类号	G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):G02B	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
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