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发明名称 Chlorofluorocarbon additives for enhancing etch rates in fluorinated halocarbon/oxidant plasmas.
摘要
申请公布号 EP0317794(B1) 申请公布日期 1994.12.28
申请号 EP19880118087 申请日期 1988.10.31
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DAUBENSPECK, TIMOTHY H.;ICHISHITA, FAITH S.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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